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此时,工件台的定位精度和运动速度,就显得极为重要,也让光刻机进入了多工厂合作模式。
dSw4800这台光刻机,售价只要50万美金,而一台Ibm大型电脑,差不多也是这个价。这也说明,在林天河当下,光刻机并不是可望不可及的高科技产品。
国内的光刻机,其实也不差,说到底,当前的光刻机还不是后世ASmL那种,由几十万个零部件组成的庞大系统。
在1966年时,109厂与上海光学仪器厂协作研制出65型接触式光刻机.到了77年,GK-3型半自动光刻机诞生,仍然是一台接触式光刻机。
78年,在GK-3型的基础上研发了GK-4,还是接触式的。
1980年,青华大学研制的分布式投影光刻机获得成功,精度达到3微米,接近主流水平,Intel的8086制程就是3微米。
但是这远称不上先进,国外已经可以做到1微米,只是晶圆厂更新设备没那么快。
而接下来的1981年,华科院又研制了JK-1型半自动接近式光刻机,这不是倒回去了吗?
1982年,科学院109厂研制了KhA-75-1,《仪表工业》评价这是一款接近、接触式半自动光刻机!
终于,1985年中电科45所(机械部45所)研制出分步投影光刻机,后世评价称达到dSw4800的水平。
但是,这些产品都没有得到广泛应用。
接下来3天,他们四人待在招待所,无人理会。
林天河很是惊讶,人才问题这么难以解决?
等到第四日,林天河忍不住了,老头从招待所给伍书记去了电话,要求见一面。
伍书记推脱不过,来到招待所,对四人说道:“你们说的问题,我们领导班子商量后,没有定论。给省里打了报告,根据我过去一个同学所说,省里也是争论不休。你们再等等,实在不行,我向中央打报告,我是真心希望你们投资的!”
林天河说道:“我有个折中的办法,你看行不行。”
伍书记有些怀疑,这小孩子能有什么主意?但是也做出好奇状,说道:“你有什么主意,说来听听?”
林天河思索着说道:“既然是国家干部,不能随便雇佣,那我们租借行不行?”
伍书记一愣,租借?人还可以租借吗?不过想想,也不是不可以呀!
国家要求解放思想,这也算是一种解放思想吧!
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